مهندسی نانو ذرات برای صفحه‌بندی شیمی-مکانیکی

دانلود کتاب Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization: Fabrication of Next-Generation Nanodevices مهندسی نانو ذرات برای صفحه‌بندی شیمی-مکانیکی: ساخت نانودستگاه‌های نسل بعدی. خواص فیزیکوشیمیایی نانوذرات را با توجه به هر مرحله از فرآیند CMP، از جمله CMP دی الکتریک، CMP جداسازی روند کم عمق، CMP فلز، CMP جداسازی پلی و CMP فلز نجیب توضیح می دهد. نویسندگان راهنمای دقیقی برای مهندسی نانوذرات دوغاب CMP جدید برای دستگاه‌های نانومقیاس نسل بعدی زیر قانون طراحی 60 نانومتری ارائه می‌کنند. آنها تکنیک های طراحی را با استفاده از افزودنی های پلیمری برای بهبود عملکرد CMP ارائه می کنند. فصل آخر بر دوغاب CMP جدید برای کاربرد در دستگاه های حافظه فراتر از فناوری 50 نانومتر تمرکز دارد.

مشخصات کتاب 

• عنوان فارسی: مهندسی نانو ذرات برای صفحه‌بندی شیمی-مکانیکی
• نویسنده(ها): Ungyu Paik
• سال انتشار:  2009
• زبان نوشتاری: انگلیسی
• شابک: 1420059114, 9781420059113
• تعداد صفحات: 196 صفحه
• فرمت کتاب: PDF
• حجم فایل فشرده: 6.48 مگابایت