دانلود کتاب Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies (Micro and Nano Technologies) 3rd Edition مواد و فناوریهای MEMS مبتنی بر سیلیکون (فناوریهای میکرو و نانو) ویرایش سوم. این کتاب، راهنمای جامعی برای مواد، فناوریها و ساخت MEMS با تأکید ویژه بر سیلیکون به عنوان مهمترین ماده اولیه مورد استفاده در MEMS است. این کتاب اصول، خواص (مکانیکی، الکترواستاتیکی، نوری و غیره)، انتخاب مواد، آمادهسازی، مدلسازی، ساخت، پردازش، یکپارچهسازی سیستم، اندازهگیری و تکنیکهای توصیف مواد ساختارهای MEMS را توضیح میدهد.
مشخصات کتاب
- عنوان فارسی کتاب: هندبوک مواد و فناوریهای MEMS مبتنی بر سیلیکون ویرایش سوم
- نویسنده(ها): Markku Tilli
- سال انتشار: 2020
- زبان نوشتاری: انگلیسی
- شابک: 0128177861, 9780128177860, 9780128177877
- تعداد صفحات: 991 صفحه
- فرمت کتاب: PDF
- حجم فایل فشرده: 38.9 مگابایت
دیدگاهها
هیچ دیدگاهی برای این محصول نوشته نشده است.